氦气泄漏测试（He 泄漏测试）是一种高精度的元件密封性测量方法（泄漏极限可达 1.0E-08mbar*l/sec）。既可以在真空室中进行整体测量，也可以使用嗅探探头进行局部测量。该过程可集成到小型手动工作站和批量生产系统中。